Абдулла разработка технологии изготовления и исследование сенсорных элементов на основе полиакрилонитрила и соединений меди

На правах рукописи

Аль-Хадрами Ибрахим Сулейман Абдулла

РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЕ СЕНСОРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ОСНОВЕ ПОЛИАКРИЛОНИТРИЛА И СОЕДИНЕНИЙ МЕДИ

Специальность 05.27.01 – «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах»

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени

кандидата технических наук

Таганрог – 2008 г.

Работа выполнена на кафедре Химии и Экологии Технологического института Южного федерального университета в г. Таганроге

Научный руководитель: – доктор технических наук, профессор

Королев А.Н. (ТИ ЮФУ, г. Таганрог)

Официальные оппоненты: доктор технических наук, профессор

Захаров А.Г. (ТИ ЮФУ, г. Таганрог)

1. кандидат физико-математических наук,

доцент, Каложоков Хамидби Хажисмелович

2. (КБГУ, г. Нальчик)

Ведущая организация – ЮРГТУ(НПИ), г. Новочеркаск

Защита диссертации состоится « 28 » августа 2008г. в 1020 часов на заседании диссертационного совета Д.212.208.23 в Технологическом институте Южного федерального университета в г. Таганроге по адресу: 347928, г. Таганрог, ул. Шевченко, 2, корп. Е, ауд. Е-306.

С диссертацией можно ознакомиться в зональной научной библиотеке Южного федерального университета.

Отзыв на автореферат, заверенный гербовой печатью научной организации, просим направлять по адресу:

ТТИ ЮФУ, ученому секретарю диссертационного совета Д 212.208.23,

347928, Ростовская обл., г. Таганрог, ул. Шевченко, 2, корп. Е, ауд. Е-306.

Автореферат разослан « 28 » июля 2008 года.

Ученый секретарь

диссертационного совета,

доктор технических наук, профессор Н.Н. Чернов

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. В последнее время развитие науки и техники требует создания новых материалов, обладающих специфическими физико-химическими свойствами. С одной стороны получила развитие область, связанная с проводящими и наполненными полимерами, с другой, большой интерес вызывают углеродные материалы (в частности нанотрубки, нановолокна и т. д.).

Из органических полимерных материалов активно исследуются макроциклические соединения (например, фталоцианины, порфирины), являющиеся ароматическими макроциклами с уникальной сопряженной -системой, которая и определяет их сущность как особых по химической и термической стойкости органических полупроводников.

В последнее время интенсивно исследуются пленки электропроводящих полисопряженных полимеров, свойства которых могут быть изменены в широких пределах путем изменения структуры и состава полимерной матрицы. В качестве материалов для микро - и наноэлектроники находят применение металлополимерные нанокомпозиты, представляющие собой равномерно диспергированные наночастицы (5 – 100 нм) неорганических веществ (металлов) и их соединений в полимерной матрице. Сочетание свойств органических и неорганических веществ раскрывает широкие возможности для контролируемого получения материалов с заданными свойствами. Наибольший интерес представляет применение таких материалов в качестве газочувствительного элемента при разработке сенсоров газов, каковым отводится не последняя роль в мониторинге окружающей среды в связи с необходимостью создания портативных устройств контроля состояния атмосферы. Повышенные требования к характеристикам сенсорных устройств вызывают также необходимость поиска и разработки новых технологических процессов, позволяющих получать газочувствительные материалы с заданными характеристиками.

Таким образом, тема диссертационной работы, связанная с разработкой технологии изготовления и исследованием свойств сенсорных элементов на основе тонких пленок медьсодержащего полиакрилонитрила (ПАН), представляется современной и актуальной.

В области исследований свойств тонких пленок недостаточно изученными остается целый ряд вопросов. Не до конца изучено влияние технологических режимов формирования, состава, морфологии поверхности, структуры на электрофизические свойства и газочувствительные характеристики тонкопленочных материалов.

Поэтому целью диссертационной работы является изготовление сенсорных элементов на основе ПАН и соединений меди. В связи с этим необходимо решить следующие задачи:

1. Разработать технологию изготовления электропроводящих полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди.
2. Получить по разработанной технологии образцы электропроводящих полимерных пленок ПАН с различным содержанием соединений меди.
3. Исследовать состав, морфологию поверхности и структуру полученных образцов.

4. Исследовать электропроводящие свойства полученных образцов.

5.Определить газочувствительные характеристики сенсорных элементов на основе электропроводящих полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди.

Объектами исследования являлись сенсорные элементы на основе ПАН и соединений меди.

Используемые методики. Контроль качества и определение свойств полученных образцов пленок осуществлялись с помощью микроскопии атомных сил, интерференционной микроскопии, спектроскопии поглощения видимого и ИК-излучения, рентгеноструктурного анализа. Измерения поверхностного сопротивления, температурной зависимости удельного сопротивления и газочувствительных характеристик сенсорных элементов проводились на автоматизированном стенде.

Научная новизна. В работе были получены следующие научные результаты:

1. Впервые получены образцы электропроводящих полимерных пленок на основе ПАН и соединений меди.

2. Определена структура полученных полимерных электропроводящих полимерных пленок, представляющих собой аморфную матрицу ПАН с распределенными в ней кристаллическими включениями соединений меди (Cu, Cu2O,CuCl).

3. Определено влияние содержания соединений меди и температуры ИК-отжига на морфологию поверхности и структуру полученных образцов пленок.

4. Определено влияние содержания соединений меди и температуры ИК-отжига на электропроводность полученных образцов пленок.

5. Определено влияние морфологии поверхности, структуры и электропроводности полученных образцов пленок на газочувствительные характеристики сенсорных элементов на их основе.

Практическая значимость

1. Разработана технология изготовления сенсорных элементов на основе электропроводящих полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди.
2. Разработан сенсорный элемент на диоксид азота.

Основные положения, выносимые на защиту

1. Технология изготовления электропроводящих полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди.
2. Сенсорный элемент на диоксид азота.

Достоверность результатов работы. Достоверность научных результатов обусловлена применением в экспериментах стандартной измерительной аппаратуры, согласованностью экспериментально полученных результатов с теоретическими выводами.

Апробация работы.

Материалы диссертации обсуждались на следующих конференциях:

• 2-я Ежегодная научная конференция студентов и аспирантов базовых кафедр Южного научного центра РАН (Ростов-на-Дону, 2006);
• 10-й Юбилейный международный молодежный форум «Радиоэлектроника и молодежь в XXI веке» (Украина, Харьков, 2006);
• 8-я Всероссийская научная конференция студентов и аспирантов «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления» (Таганрог, 2006);
• VI Международная научная конференция «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии» (Кисловодск, 2006);
• 10-я Международная научно-техническая конференция и школа-семинар «Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники» (Дивноморское, 2006);
• VII Международная научная конференция «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии» (Кисловодск, 2007);
• 3-я Ежегодная научная конференция студентов и аспирантов базовых кафедр Южного научного центра РАН (Ростов-на-Дону, 2007).

Публикации.

По материалам диссертационной работы опубликованы 13 печатных работ, из них 3 статьи и 10 работ в сборниках трудов конференций.

Структура и объем работы.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы из 114 наименований. Общий объем диссертации составляет 114 страниц, включая 49 рисунков, 11 формул и 12 таблиц.

ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы, сформулированы цель и основные задачи, приведена структура и краткое содержание диссертации, охарактеризована научная новизна и практическая ценность полученных результатов, определены положения, выносимые на защиту. Приведены сведения об апробации диссертации, структуре и ее объеме.

В первой главе сделан литературный обзор по теме диссертации. Анализ публикаций показал, что химические сенсоры газов являются наиболее эффективными инструментами диагностики воздушной среды, т.к. они сочетают простоту и дешевизну конструкции с высокой чувствительностью, непрерывностью действия, отсутствием расходуемых материалов, обратимостью показаний и легко включаются в автоматизированные системы.

Наиболее перспективными материалами для создания химических сенсоров газов являются металлорганические композиционные пленки, представляющие собой полимерную матрицу, содержащую нанокластеры металла или его соединений. Подобные материалы не образуют устойчивых химических соединений с адсорбирующимися частицами газа, имеют высокую чувствительность электрофизических свойств к их адсорбции, проявляют селективность по отношению к определенному газу.

Рассмотрены основные критерии выбора компонентов полупроводникового композиционного материала для сенсорных элементов. В качестве компонентов выбраны полиакрилонитрил (ПАН), которому можно придать полупроводниковые свойства посредством соответствующей термообработки, и медь, проявляющая каталитические свойства к определенным газам.

Проведен анализ методов получения электропроводящих полимерных пленок. Из множества методов выбран золь-гель метод, преимущество которого заключается в том, что из коллоидных растворов (золей) возможно получение пленок с воспроизводимыми параметрами точно заданного состава при фиксированных условиях термообработки, при этом не требуется сложного технологического оборудования.

Вторая глава посвящена разработке технологической схемы получения сенсорных элементов на основе электропроводящих полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди.

Для приготовления плёнкообразующего раствора были выбраны: полиакрилонитрил (ПАН) марки «химически чистый» в качестве электропроводящего компонента, хлорид меди (II) CuCl2 марки «х.ч.» в качестве легирующего компонента для повышения селективности и адсорбционной активности ПАН, и диметилформамид (ДМФА) марки «х.ч.» в качестве растворителя обоих компонентов. Количество хлорида меди (II), необходимое для приготовления плёнки, брали из пересчета количества меди на количество хлорида меди для того, чтобы получить растворы с различным содержанием меди по массе. Навеску ПАН брали всё время одной массы.

Для того чтобы получить однородный плёнкообразующий раствор, необходимо выдержать его в течение 24 часов при температуре 22 °С. Приготовленные растворы наносились методом центрифугирования на подложки из кварцевого стекла, предварительно обезжиренные. Определены режимы температурной обработки образцов пленок: 1) сушка образцов при температуре 90-100оС (30 мин.); 2) ИК-отжиг образцов - в два этапа: первый этап – предварительный ИК-отжиг в камере ИК-излучения на воздухе для окислительной термостабилизации ПАН (при температуре 150 С в течение 15 мин., а затем при 200 С также в течение 15 мин.); второй этап – основной ИК-отжиг на установке «ФОТОН» в атмосфере инертного газа для карбонизации ПАН (при Т = 150С, 200 С по 15 мин.; затем при Т=500 - 800С по 5 мин.). В результате проведенных экспериментальных исследований разработана технологическая схема изготовления сенсорных элементов (рис.1).

Рис.1. Технологическая схема изготовления сенсорных элементов на основе электропроводящих полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди.

В третьей главе представлены результаты исследования структуры, фазового состава, морфологии поверхности и электропроводности полученных образцов пленок.

Оценка толщины образцов пленок интерференционным методом показала, что ее величина определяется концентрацией легирующего компонента (хлорида меди (II) CuCl2) и температурой ИК-отжига (рис.2.) Как видно, толщина образцов плёнок ПАН составляет 0,01 - 0,02 мкм. Введение Cu (0,2 – 10 масс.%) повышает толщину пленок от 0,04 до 0,6 мкм. Из рис.2 также следует, что повышение температуры ИК-отжига приводит к уменьшению толщины образцов пленок.

Рис. 2. Зависимость толщины медьсодержащих плёнок ПАН от температуры ИК-отжига при различном содержании меди.

Рентгеноструктурными исследованиями установлено, что структуры полученных образцов плёнок являются аморфными и содержат кристаллические включения. В структуре образцов медьсодержащей плёнки ПАН (Тотжига = 500-600°С) обнаружено присутствие CuCl и Cu; в структуре образцов (Тотжига = 700-800°С) Cu2O, CuCl и Cu (табл.1).

Таблица 1

Содержание кристаллических включений в медьсодержащих плёнках ПАН.

2Theta
CuCl		Cu2O		Cu
Табличные значения	Фактические значения	Табличные значения	Фактические значения	Табличные значения	Фактиче- ские значения
28,12	28,22	37,01	37,05	43,29	43,36
36,42	36,02				43,6

При исследовании структурных превращений медьсодержащих пленок ПАН методам ИК–спектроскопии (табл.2) установлено, что увеличение температуры ИК-отжига приводит к уменьшению содержания тройных связей и увеличению содержания сопряженных связей в полимерной цепи ПАН. Определено влияние содержания соединений меди на структуру образцов пленок: повышение содержания соединений меди в образцах пленок приводит к снижению содержания тройных связей и повышению содержания сопряженных связей в полимерной цепи ПАН. Также установлено, что и повышение содержания меди в образцах, и повышение температуры ИК-отжига приводит к снижению интенсивности процесса комплексообразования Cu с нитрильными группами СN в данном интервале температур.

Таблица 2

Интенсивность полосы поглощения медьсодержащих плёнок ПАН после обработки в атмосфере инертного газа интенсивным ИК-излучением.

Показано, что на морфологию поверхности полученных образцов значительное влияние оказывает содержание соединений меди и температуры ИК-отжига. Обнаружено, что повышение концентрации соединений меди в образцах приводит к увеличению площади их поверхности, а увеличение температуры ИК-отжига - к уменьшению (рис. 3). Так, для образцов ПАН характерно сглаживание поверхности пленки с увеличением температуры ИК-отжига в большей степени, чем для медьсодержащих образцов ПАН. Также, медьсодержащие пленки ПАН (Тотжига = 600°С) имеют более развитую поверхность, чем медьсодержащие пленки ПАН (Тотжига = 800°С) (рис. 4 и 5), т.е. повышение температуре ИК-отжига образцов приводит к сглаживанию их поверхности.

Рис. 3. Зависимость общей площади поверхности образцов медьсодержащих плёнок ПАН от температуры ИК-отжига при различном содержании меди.

Рис.4. АСМ-изображение морфологии Рис.5. АСМ-изображение морфологии

поверхности медьсодержащей поверхности медьсодержащей

пленки ПАН при Тотжига=600°С: пленки ПАН при Тотжига=800°С:

а) 0 масс. % Cu ; б) 3 масс. % Cu ; а) 0 масс. % Cu ; б) 3 масс. % Cu ;

в) 10 масс. % Cu в) 10 масс. % Cu

Проведенные исследования удельного сопротивления полученных плёнок показали, что повышение содержания меди в образцах и температуры ИК-отжига приводит к уменьшению этой величине. Обнаружено, что изменение содержания меди и температуры ИК-отжига позволяет получать образцы с удельным сопротивлением в широком интервале: от 4·1010 до 400 Ом·см. (рис.6).

Рис.6. Значения удельного сопротивления плёнок ПАН с различным содержанием Cu, полученных при разных температурах ИК-отжига.

Построены температурные зависимости удельного сопротивления пленок в диапазоне 20-300°С в координатах lgR - 1/Т (рис.6), из которых следует, что: 1) удельное сопротивление пленок уменьшается с повышением температуры по экспоненциальному закону, что говорит о полупроводниковом характере проводимости материала пленки; 2) на зависимости lgR - 1/Т существует линейный участок в области температур 130-285°С, свидетельствующий об активационном характере проводимости; 3) температурная зависимость удельного сопротивления плёнок, отожжённых при 800 оС, носит линейный характер (рис.7).108 105104

а б

в

Рис.7. Температурные зависимости удельного сопротивления плёнок ПАН (1) и медьсодержащего ПАН 3 масс.% (2) и 10 масс.% (3), отожженных при температуре 600оС (а), 650оС (б) и 800оС (в).

В четвертой главе проведены исследования по определению основных газочувствительных характеристик полученных сенсорных элементов и выявлению образца с их оптимальным набором для создания сенсора газа.

Газочувствительность образцов сенсорных элементов к диоксиду азота и аммиаку была измерена при разных температурах. Измеряемым параметром являлось поверхностное сопротивление образца, величина которого изменялась в зависимости от концентрации диоксида азота и аммиака в измерительной камере. Газочувствительность сенсорных элементов оценивалась с помощью коэффициента газочувствительности S к:

S к = (Rо-Rg)/Rо, при Rо > Rg ;

S к = (Rg-Rо)/Rо, при Rо < Rg,

где Rо – начальное значение поверхностного сопротивления образца ; Rg – стационарное значение поверхностного сопротивления образца после подачи детектируемого газа.

Исследования газочувствительности показали, что отклик сенсора наблюдается сразу же после поступления газа в измерительную камеру. Характер изменения поверхностного сопротивления образцов определяется окислительно-восстановительной природой газа. Воздействие на сенсорный элемент газа-окислителя NO2 приводит к уменьшению поверхностного сопротивления образца. Воздействие газа-восстановителя NH3 приводит к увеличению поверхностного сопротивления, что наглядно видно из рис. 8 и 9.

Рис. 8. Кинетика адсорбционного отклика образца сенсорного элемента 500-3 при периодическом воздействии NO2.

Рис. 9. Кинетика адсорбционного отклика образца сенсорного элемента 500-3 при периодическом воздействии NH3.

Как видно (рис.10), образцы сенсорных элементов имеют заметный отклик на газ-окислитель (акцептор) - диоксид азота и слабый отклик на газ- восстановитель (донор) - аммиак, что позволяет говорить о селективности полученных образцов к диоксиду азота.

Рис.10. Зависимость коэффициента газочувствительности образцов сенсорных элементов с содержанием Cu 3 масс. % от температуры ИК-отжига для NO2 и NH3.

Изменение содержания меди в сенсорном элементе и температуры его ИК-отжига отражается на газочувствительности образцов: коэффициент газочувствительности увеличивается при повышении содержания меди в образцах, отожженных при 500°С (рис.11а), и уменьшается для образцов, отожженных при 600°С (рис.11б) и 700оС (рис.11в).

а) б)

в)

Рис. 11. Зависимость коэффициента газочувствительности образцов сенсорных элементов, отожженных при 500(а),600(б) и 700(в)°С, от концентрации NO2

Анализ значений времени отклика и времени восстановления (рис.12) образцов сенсорных элементов, показал, что время отклика и время восстановления зависят от содержания меди и температуры ИК-отжига. Наилучшие показатели времени отклика составляют 3-4 секунды, а время восстановления - 19-20 минут (рис. 12).

Рис. 12. Значения времени отклика и времени восстановления образцов сенсорных элементов.

В табл. 3 приведены данные, определяющие технические характеристики полученных образцов сенсорных элементов.

Таблица 3.

Газочувствительные характеристики образцов сенсорных элементов.

Наилучшие показатели отклика имеет образец 500-3 (температура отжига 500оС, содержание Cu – 3 масс. %).

Исследование влияния температуры нагрева образцов на газочувствительность показали, что максимальное значение коэффициента газочувствительности достигается при комнатной температуре (22С) и резко снижается при увеличении температуры до 50С (рис. 13).

Рис. 13. Зависимость коэффициента газочувствительности образца 500-3 от температуры нагрева (концентрация газа 146 ppm)

Были проведены исследования влияния влажности воздуха на величину газочувствительности образцов, которые проводились при значениях относительной влажности воздуха от 45 до 90% и при температуре 22С.

Было установлено, что в данном диапазоне значений влажности не происходит изменения газочувствительности (рис.14), что является положительным фактором.

Рис. 14. Зависимость коэффициента Рис. 15. Зависимость поверхностного

газочувствительности сенсорного элемента сопротивления образцов сенсорных

500-3 от влажности воздуха (концентрация элементов от концентрации NO2.

146 ppm).

Для определения динамического диапазона образцов сенсорных элементов построен калибровочный график зависимости поверхностного сопротивления от концентрации NO2 (рис.15).

Таблица 4.

Газочувствительные характеристики сенсора на диоксид азота.

Таким образом, образец сенсорного элемента 500-3 является наиболее оптимальным для создания сенсора на диоксид азота. Его основные технические характеристики представлены в табл. 4.

Основные результаты и выводы

1. Впервые получены образцы электропроводящих полимерных пленок на основе ПАН и соединений меди.
2. Разработана технология получения электропроводящих полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди.
3. Определена структура полученных электропроводящих полимерных пленок, представляющих собой аморфную матрицу ПАН, содержащую донорно – акцепторные комплексы вида (СN) Cu, и распределенными в ней кристаллическими включениями соединений меди (Cu, Cu2O,CuCl).
4. Определено влияние содержания меди в пленках на их структуру: повышение содержания меди в пленках приводит к снижению содержания тройных связей и повышению содержания сопряженных связей в полимерной цепи ПАН.
5. Определено влияние температуры ИК-отжига на структуру образцов пленок: увеличение температуры ИК-отжига приводит к уменьшению содержания тройных связей и увеличению содержания сопряженных связей в полимерной цепи ПАН.
6. Установлено, что и повышение содержания меди в образцах, и повышение температуры ИК-отжига приводит к снижению содержания донорно – акцепторных комплексов вида (СN) Cu в полимерной цепи ПАН.
7. Определено влияние содержания соединений меди на морфологию поверхности пленок: повышение концентрации соединений меди в образцах приводит к увеличению площади их поверхности.
8. Установлено, что температура ИК-отжига на морфологию поверхности образцов пленок: увеличение температуры ИК-отжига приводит к уменьшению площади их поверхности.
9. Установлено, что содержание меди и температура ИК-отжига влияют на удельное сопротивление образцов пленок: повышение содержания меди и температуры ИК-отжига приводит к уменьшению их удельного сопротивления.
10. Определена температурная зависимость удельного сопротивления образцов пленок: с повышением температуры удельное сопротивление образцов снижается по экспоненциальному закону, что указывает на полупроводниковый характер проводимости материала пленок.
11. Определено влияние морфологии поверхности, структуры и удельного сопротивления образцов пленок на газочувствительные характеристики сенсорных элементов на их основе.

12. В соответствие с установленными технологическими параметрами ( масса CuCl2 – 0,02 г; температура ИК-отжига – 500оС ) изготовлен сенсорный элемент на диоксид азота который имеет следующие характеристики: предел обнаружения – 30 - 36 ppm, динамический диапазон – 36,5 – 255 ppm, рабочая температура – 20 – 35 оС, инерционность (время отклика) – 4 сек, время восстановления – 20 мин, коэффициент газочувствительности (146 ppm) – 0,369 отн. ед., габаритные размеры – 1010 мм.

Основное публикации по теме диссертации:

1. И.С. Аль-Хадрами. Химические сенсоры: состав, строение, методы получения и свойства.// В сб. матер. второй ежегодной научной конференции студентов и аспирантов базовых кафедр Южного научного центра РАН. Ростов н/Д: Изд-во: ЮНЦРАН. 2006.-С. 108-109.
2. А.Н. Королев, И.С. Аль-Хадрами, Т.В. Семенистая, В.В. Петров. Получение тонких металлорганических пленок состава Mе-полимер для химических сенсоров газов. // В сб. трудов. десятой международной научно-технической конференции и школы-семинара «Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники» Часть 1. Изд-во: ТРТУ, Таганрог. 2006.С. 69-72.
3. И.С. Аль-Хадрами, А.Н. Королев. Технология получения тонких металл-полимерных пленок для химических сенсоров газов // В сб. матер. VI Международной научной конференции «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии». Кисловодск 17-22 сентября 2006 г. Ставрополь: СевКавГТУ. 2006. С. 21-22.
4. Аль-Хадрами И.С. Полупроводниковые структуры, содержащие тонкие органические пленки. // В сб. трудов. VIII Всероссийской научной конференции студентов и аспирантов «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления». Таганрог. 2006. С. 261-262.
5. Аль-Хадрами И.С. Органические пленки полупроводники химических сенсоров. // В сб. трудов. VIII Всероссийской научной конференции студентов и аспирантов «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления». Таганрог. 2006. С. 388-389.
6. Аль-Хадрами И.С. Полупроводниковые газовые сенсоры. // Материалы 10-го Юбилейного Международного Молодежного форума «Радиоэлектроника и молодежь в XXI веке ». Харьков. Изд-во Харьковского национального университета радиоэлектроники. 2006. С. 141.
7. И.С. Аль-Хадрами. Электропроводность в пиролизованном полиакрилонитриле. // В сб. матер. третьей ежегодной научной конференции студентов и аспирантов базовых кафедр Южного научного центра РАН. Ростов н/Д: Изд-во: ЮНЦРАН. 2007.С. 196-197.
8. Аль-Хадрами И.С., Королев А.Н., Семенистая Т.В. Исследование газочувствительности пленок на основе ИК-пиролизованного медьсодержащего полиакрилонитрила // В сб. матер. VII международной научной конференции «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии». Кисловодск 17-22 сентября 2007г. Ставрополь: СевКавГТУ. 2007. С. 247-248.
9. И.С. Аль-Хадрами. Электропроводящие полимерные материалы на основе полиакрилонитрила для сенсорных устройств. // В сб. матер. третьей ежегодной научной конференции студентов и аспирантов базовых кафедр Южного научного центра РАН. Ростов н/Д: Изд-во: ЮНЦРАН. 2007.С.197-198.
10. Ибрахим.С.А. Аль-Хадрами, А.Н. Королев. Возможности и перспективы химических сенсоров. // Известия ТРТУ. №9. 2006. С. 84-88.
11. И.С. Аль-Хадрами, А.Н. Королев, Т.В. Семенистая, Т.Н. Назарова, В.В. Петров. Исследование сенсорных свойств медьсодержащего полиакрилонитрила. // Изв. ВУЗов. Электроника. 2008.№1. С. 20-25.
12. И.С. Аль-Хадрами, А.Н. Королев, Л.М. Земцов, Г.П Карпачева, Т.В. Семенистая. Исследование электропроводности ИК-пиролизованного медьсодержащего полиакрилонитрила. // Изв. ВУЗов Материалы электронной техники. 2008. №1. С. 16-19.
13. Ибрахим.С.А. Аль-Хадрами, А.Н. Королев. Исследование процесса комплексообразования хлорида меди в структуре полиакрилонитрила. // Известия ЮФУ. Технические науки. 2008. № 1 (78). С. 219-220.

Личный вклад автора В работах, опубликованных в соавторстве, лично Аль-Хадрами И.С. принадлежат следующие результаты.

1. В [1, 6, 10] автор провел анализ свойств тонких пленок для химических сенсоров, полученных из различенных растворов в зависимости от условий методов их формирования, провел анализ существующих в настоящее время типов химических сенсоров и их возможностей.
2. В [2, 3] автор провел анализ существующих в настоящее время методов формирования металлорганических пленок для химических сенсоров газов.
3. В работах [4,5,13] автор провел анализ свойств полупроводниковых структур, содержащих тонкие органические пленки.
4. В [7, 9] автор исследовал электропроводность тонких пленок на основе полиакрилонитрила для сенсорных устройств.
5. В [12] автор исследовал электропроводность ИК-пиролизованного медьсодержащего полиакрилонитрила, разработал технологию электропроводящих полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди, а также получил температурные зависимости поверхностного сопротивления тонкопленочных образцов.
6. В [11, 8] автором исследованы сенсорные свойства медьсодержащего полиакрилонитрила: автор установил зависимость коэффициента газочувствительности полученных образцов от морфологии поверхности и удельного сопротивления.

Подписано к печати 7.07.08

Формат 6084/16. Бумага офсетная

Офсетная печать. Усл. Печ.л.-12

Тираж 100 экз. Заказ № ______

Отпечатано: Издательство Технологического института

Южного федерального университета в г. Таганроге

ГСП, 17А, Таганрог, 28, Энгельса, 1