Технологические методы и средства повышения точности волоконно-оптических преобразователей линейных и угловых перемещений отражательного типа

На правах рукописи

ЮРОВА Ольга Викторовна

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ
ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ЛИНЕЙНЫХ И УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

ОТРАЖАТЕЛЬНОГО ТИПА

Специальность 05.11.14 – Технология приборостроения

А в т о р е ф е р а т
диссертации на соискание ученой степени

кандидата технических наук

ПЕНЗА – 2012

Работа выполнена в ФГБОУ ВПО «Пензенский государственный университет».

Научный руководитель	доктор технических наук, профессор
	Мурашкина Татьяна Ивановна.
Официальные оппоненты:	Гориш Анатолий Васильевич, доктор технических наук, профессор, НОУ ДПО «Институт повышения квалификации работников машиностроения и приборостроения», профессор;
	Аверин Игорь Александрович, доктор технических наук, профессор, ФГБОУ ВПО «Пензенский государственный университет», заведующий кафедрой «Нано- и микроэлектроника».
Ведущая организация	ОАО «НИИ физических измерений», г. Пенза.

Защита диссертации состоится 22 мая 2012 г., в 14 часов, на заседании диссертационного совета Д 212.186.02 ФГБОУ ВПО «Пензенский государственный университет» по адресу: 440026, г. Пенза, ул. Красная, 40.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке ФГБОУ ВПО «Пензенский государственный университет».

Автореферат разослан «____»___________ 2012 г.

Ученый секретарь

диссертационного совета Светлов Анатолий Вильевич

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность работы. Создание и внедрение информационно-измерительных приборов (ИИП) нового поколения для отечественных инженерно-технических объектов (ИТО) ракетно-космической, авиационной, машиностроительной, судостроительной и других отраслей техники требуют разработки и совершенствования технологических процессов и процедур изготовления волоконно-оптических датчиков (ВОД) различных физических величин: давления, перемещения, деформации, ускорений, уровня жидкости и др.

Отсутствие широкой номенклатуры ВОД и недостаточные темпы в области их разработок являются сдерживающими факторами широкого внедрения волоконно-оптических информационно-измерительных систем (ВОИИС). Поэтому существует реальная потребность в быстрейшем создании ВОД различных типов, сопрягаемых с разрабатываемыми ВОИИС.

Основное преимущество ВОД перед электрическими обусловлено их возможным использованием в ситуациях, в которых либо электронные устройства вообще нельзя использовать, либо такое использование сопровождается значительными трудностями и расходами. ВОД обеспечивают чрезвычайно высокий уровень безопасности при эксплуатации в потенциально искро-, пожаро- и взрывоопасных условиях. Важнейшим достоинством ВОД является невосприимчивость их к высокочастотным и импульсным электромагнитным помехам. Внедрение ВОИИС существенно уменьшает массу и объем измерительных средств и кабельных сетей на ИТО различных отраслей техники.

Научно-технические и технологические предпосылки к решению проблем проектирования и изготовления ВОД созданы как зарубежными, так и отечественными учеными: В. Д. Бурковым, В. И. Бусуриным, М. М. Бутусовым, А. В. Горишем,
В. М. Гречишниковым, В. Г. Жилиным, Е. А. Заком, Н. Е. Конюховым, Я. В. Малковым, Т. И. Мурашкиной, А. Л. Патлахом, В. Т. Потаповым, Н. П. Удаловым и др. В то же время в известной научно-технической литературе недостаточно отражены технологические особенности проектирования и изготовления ВОД, эксплуатируемых в специальных условиях ИТО.

Для достижения требуемых метрологических и эксплуатационных характеристик ВОД необходимо решить технологические вопросы проектирования и изготовления оптических систем измерительных преобразователей. До настоящего времени не разработаны технологические процессы, обеспечивающие эффективную сборку, настройку, регулировку, юстировку оптической системы волоконно-оптических преобразователей линейных (ВОПЛП) и угловых перемещений (ВОПУП), являющихся основными технологическими базовыми элементами ВОД различных физических величин.

Особенности проектирования высокоточных и надежных ВОД для ИТО различных отраслей требуют исключения влияния на результат измерения изгибов оптических волокон (ОВ) и различных внешних влияющих факторов, что можно обеспечить применением дифференциальных методов преобразования оптических сигналов, несущих информацию об измеряемой физической величине. Данное преобразование оптических сигналов необходимо реализовать непосредственно в зоне восприятия измеряемой информации, для чего следует разработать новые адекватные конструктивно-технологические решения дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП.

Наибольшее применение получили ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, принцип действия которых основан на изменении интенсивности светового потока в оптической системе под действием измеряемой физической величины. Однако для достижения высокой точности и надежности ВОД на основе дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа необходимо разработать соответствующее технологическое обеспечение процессов их проектирования, сборки и изготовления.

Создание новых технологических процессов и средств изготовления таких дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа с реализацией теории дифференциального преобразования оптических сигналов в зоне восприятия измерительной информации, которые обеспечивают повышение точности и надежности ВОД, является актуальной задачей.

Цель исследований. Целью диссертационной работы является решение научной задачи совершенствования известных и разработки новых технологий производства ВОД повышенной точности и надежности для измерения, контроля и диагностики физических процессов на основе дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа.

Научная задача, решенная в работе, – научное обоснование, разработка новых методов, средств, процедур и технологий изготовления ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа с улучшенными метрологическими и эксплуатационными характеристиками для перспективных ИИП ракетно-космической и авиационной техники.

Область исследования. Проблемы, решенные в диссертации, соответствуют проблематике специальности 05.11.14 – Технология приборостроения: п. 1 – разработка научных основ технологии приборостроения при создании ИИП нового поколения (ВОД на основе дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа), п. 3 – разработка и исследование методов и средств повышения точности и надежности приборов (ВОД на основе дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа) и технологических процессов их изготовления; п. 6 – разработка, исследование и внедрение новых видов технологического оборудования для изготовления деталей, сборки, регулировки, контроля и испытаний приборов (ВОД на основе дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа).

Для достижения цели поставлены и решены следующие задачи:

• проведен анализ известных методов и процедур проектирования ВОПЛП и ВОПУП, на основании которого разработана методика математического моделирования базовых решений ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, обеспечивающая проектирование и изготовление ВОД с улучшенными метрологическими и эксплуатационными характеристиками;
• разработаны базовые унифицированные конструктивно-технологические элементы и узлы дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП на основе модулирующих отражательных элементов (МОЭ), а также специальные волоконно-оптические кабели (ВОК), отличающиеся схемой позиционирования оптических волокон в рабочих торцах, обеспечивающие дифференциальный алгоритм преобразования оптических сигналов, что существенно уменьшает дополнительные погрешности ВОД отражательного типа для измерения различных физических величин;
• разработаны структурные математические и метрологические модели дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, позволяющие на этапе проектирования определять источники погрешностей и конструктивно-технологическими методами и процедурами уменьшать их до минимально возможных значений;
• разработаны технология позиционирования элементов, технологические процедуры юстировки и регулировки оптических систем дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, обеспечивающие максимальную глубину модуляции и высокую чувствительность преобразования оптического сигнала;
• разработана технологическая последовательность изготовления оптической системы ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, обеспечивающая реализацию дифференциального преобразования оптических сигналов, что повышает точность и надежность ВОД в целом;
• разработаны технологические установки для сборки, настройки и юстировки дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа.

Методы исследований. При проведении исследований использовались методы математического анализа, геометрической оптики, интегрального и дифференциального исчисления, математической физики, численного анализа, имитационного моделирования на ЭВМ. В экспериментальных исследованиях применялись положения теории измерений, планирования эксперимента и математическая обработка полученных результатов. Достоверность полученных теоретических результатов и выводов подтверждалась экспериментальными исследованиями созданных образцов ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа.

На защиту выносятся:

1) научно обоснованные базовые технологические и конструктивные решения оптических систем дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, в которых новый способ позиционирования подводящих и отводящих оптических волокон двух измерительных каналов относительно друг друга и относительно отражающих поверхностей дифференциального модулирующего элемента обеспечивает улучшение метрологических и эксплуатационных характеристик ВОД различных физических величин;

2) методика математического моделирования оптических систем ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, основанная на определении местоположения сечений в полом усеченном конусе светового потока с равномерным распределением освещенности, обеспечивающая компактную математическую модель преобразования измеряемой физической величины в изменение параметров оптического сигнала, определяющая технологическую последовательность изготовления, юстировки и конструктивной оптимизации ВОД;

3) дифференциальный способ снижения дополнительной погрешности ВОД, основанный на использовании двух оптических измерительных каналов, отличающийся тем, что световой поток в них вводится по двум подводящим оптическим волокнам (ПОВ) от одного источника излучения, а отраженные от двух зеркальных перемещающихся поверхностей одного дифференциального МОЭ световые потоки, интенсивность одного из которых уменьшается, а другого увеличивается при перемещении МОЭ, по отводящим оптическим волокнам (ООВ) первого и второго измерительных каналов направляются на соответствующие приемники излучения;

4) технологические установки и приспособления, технологические процедуры юстировки, регулировки и сборки элементов оптической системы ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, построенные на основе выведенных математических зависимостей, обеспечивающие реализацию дифференциального преобразования оптических сигналов, повышение чувствительности и линейности преобразования оптических сигналов в зоне восприятия измерительной информации и снижение суммарной погрешности ВОД;

5) технологическая последовательность изготовления унифицированного волоконно-оптического кабеля для дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП, учитывающая новую схему позиционирования оптических волокон в рабочих торцах волоконно-оптического кабеля, снижающая аддитивную составляющую основной погрешности и дополнительную погрешность, обусловленную изгибами оптических волокон.

Новизна научных результатов:

1. Разработаны и экспериментально подтверждены технологические и конструктивные решения ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, обеспечивающие при проектировании исключение изгибов оптических волокон и обусловливающие модуляцию интенсивности светового потока за счет механического перемещения элементов оптической системы при воздействии измеряемой физической величины в разрыве волоконно-оптического канала, что обеспечивает их высокую надежность и точность в эксплуатационных условиях.

2. Разработана методика математического моделирования ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, отличающаяся тем, что учитывает особенности и связь предложенной последовательности математических преобразований с конструктивно-технологической оптимизацией ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа на этапе проектирования, это позволяет существенно сократить материальные и временные затраты на изготовление датчиков.

3. Усовершенствован дифференциальный способ преобразования оптических сигналов, отличающийся тем, что два канала дифференциальной схемы, находящиеся в одинаковых рабочих условиях, воспринимающие и преобразующие одну и ту же измеряемую физическую величину с помощью одного и того же МОЭ, преобразуют ее в изменение интенсивности оптического сигнала от одного и того же источника излучения, это обеспечивает снижение аддитивных и мультипликативных погрешностей ВОД.

4. Разработана процедура юстировки оптической системы дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, основанная на выполнении условия дифференциального преобразования оптических сигналов непосредственно в зоне восприятия измерительной информации, когда расстояние, которое проходят отраженные лучи первого измерительного канала в направлении –Z, должно быть равно по абсолютному значению расстоянию, которое проходят отраженные лучи второго измерительного канала в направлении +Z. При этом отраженные лучи должны перемещаться в противоположных направлениях.

Впервые разработаны технологические установки, обеспечивающие технологические процедуры юстировки, регулировки и сборки ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, в конструкции которых применена система задания угла, обеспечивающая расчетное начальное расстояние между оптическими волокнами и МОЭ, требуемые угловые отклонения МОЭ в обе стороны от вертикального положения, точность позиционирования элементов оптической системы и реализацию условий, при которых осуществляется дифференциальное преобразование оптических сигналов в зоне восприятия измерительной информации.

5. Предложена технологическая последовательность изготовления унифицированного волоконно-оптического кабеля, отличительной особенностью которой является то, что для реализации условия дифференциального преобразования оптических сигналов оптические волокна делят на три пучка со стороны расположения источника и приемников излучения в соответствии с новой схемой позиционирования в общем торце волоконно-оптического кабеля, со стороны МОЭ формируют два пучка оптических волокон в соответствии с новой схемой позиционирования оптических волокон в рабочих торцах волоконно-оптического кабеля.

Практическая значимость работы. Работа обобщает теоретические и экспериментальные исследования, выполненные автором в Пензенском государственном университете (ПГУ) на кафедре «Приборостроение» в НТЦ «Нанотехнологии волоконно-оптических систем» («НАНОТЕХ»). Проведенные теоретические и экспериментальные исследования, создание технологии изготовления опытных образцов дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП позволяют перейти к промышленному производству и внедрению дифференциальных ВОД (давления, деформации, частоты вращения, линейного и углового перемещения, виброперемещений, виброускорений, линейных ускорений), для которых они являются базовыми в различных отраслях науки, техники и технологии.

Научная и практическая значимость исследований подтверждается тем, что работа проводилась в соответствии с «Комплексной программой НИР и ОКР по созданию средств измерений, контроля и диагностики для космических аппаратов, испытательных центров наземной экспериментальной базы на период до 2010 г.», в рамках договора № 20 от 30.09.2008 г. между НТЦ «НАНОТЕХ» ПГУ и ОАО ЭОКБ «Сигнал» им. А. И. Глухарёва, г. Энгельс-19 Саратовской обл., а также в рамках аналитических ведомственных целевых программ «Развитие научного потенциала высшей школы (20062008, 20092011 гг.)» в форме грантов Федерального агентства по образованию «Разработка теории распределения светового потока в пространстве ВОП физических величин с открытым оптическим каналом» (шифр РНП.2.1.2.2827) и «Разработка теории функционирования волоконно-оптических лазерных интерферометрических систем на основе методов идентификации динамических систем с распределенными параметрами» (№ 2.1.2/937).

Реализация результатов работы. Полученные результаты теоретических и экспериментальных исследований автора реализованы при разработке конструкторской и технологической документации датчиков давления для изделий ракетно-космической и авиационной техники – шифр ВОДО-НАНОТЕХ отражательного типа, ВОДА-НАНОТЕХ аттенюаторного типа, датчиков ускорений – шифр ВОДУ-НАНОТЕХ отражательного типа, в которых базовым элементом являются разработанные дифференциальные ВОПЛП и ВОПУП.

Элементы теории проектирования дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа реализованы в НИР «Разработка теории распределения светового потока в пространстве волоконно-оптических преобразователей физических величин с открытым оптическим каналом», «Разработка теории функционирования волоконно-оптических лазерных интерферометрических систем на основе методов идентификации динамических систем с распределенными параметрами», а также в лабораторном практикуме дисциплины «Точность измерительных устройств» на кафедре «Приборостроение» ПГУ. Практическая значимость исследований подтверждается актами о внедрении результатов диссертационного исследования и предложенных технологий изготовления ВОД в НТЦ «НАНОТЕХ» ПГУ, на предприятиях ЗАО «РУСПРОМ» и НИКИРЭТ – филиал ФГУП «ПО «СТАРТ им. Н. В. Проценко».

Апробация работы. Основные научные и практические результаты исследований по теме диссертации докладывались и обсуждались на II Инвестиционном форуме Пензенской области (Пенза, 2008 г.), международных выставках «Helirussia-2009» «Helirussia-2011» (Москва, «Экспо-Крокус», 2009, 2011 гг.), международных научно-технических симпозиумах «Надежность и качество» (Пенза, 2009, 2010, 2011 гг.), IХ Московском международном салоне инноваций и инвестиций (Москва, ВВЦ, 2009 г.), II, III, IV российских форумах «Российским инновациям – Российский капитал» и VII, VIII и IХ ярмарках бизнес-ангелов и инноваторов (Саранск, 2009 г., Ижевск, 2010 г., Оренбург, 2011 г.), VI и VII саратовских салонах изобретений, инноваций и инвестиций (Саратов, 2011, 2012 гг.), международной технической конференции «Проблемы автоматизации и управления в технических системах» (Пенза, 2011 г.), конференции Всероссийской научной школы «ИСПЫТАНИЯ – 2011» (Пенза, 2011 г.).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 18 работ, из которых
3 статьи в журналах, рекомендованных ВАК, 1 патент на изобретение. Без соавторов опубликована 1 работа.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, библиографического списка, семи приложений. Основная часть изложена на 223 страницах машинописного текста, содержит 79 рисунков, 11 таблиц. Библиографический список содержит 86 наименований.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы, сформулированы основная цель и задачи исследований, раскрыты научная и практическая ценность, приведены результаты реализации и апробации работы, основные положения, выносимые на защиту.

В первой главе обобщены и систематизированы известные сведения о состоянии вопроса в области создания и использования ВОД в различных областях науки, техники и технологии для ИТО.

Специфику выбора предмета исследований определяют требования уменьшения массы измерительных средств и кабельных сетей, высокого уровня безопасности при эксплуатации в потенциально искро-, пожаро- и взрывоопасных условиях, работоспособности в условиях воздействия сильных электромагнитных и импульсных помех, механических факторов и перепадов температур с высокой точностью.

Определен предмет исследований – комплексные научно-технологические и конструктивные пути, методы, способы и процедуры взаимофункционирующих технологических процессов, обеспечивающих создание модулей дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, позволяющих в качестве базовой технологически-конструктивной компоненты создавать новые образцы ВОД с высокими метрологическими и эксплуатационными характеристиками для измерения, контроля, диагностики и других задач при создании ИТО.

В ВОД, разрабатываемых для специальных ИТО и применяемых в сложных эксплуатационных условиях, должны отсутствовать изгибы ОВ. Это возможно при использовании открытых оптических каналов, в которых модуляция интенсивности светового потока осуществляется за счет механического перемещения отдельных элементов оптической системы при воздействии измеряемой физической величины в разрыве ВОК. Для достижения требуемых метрологических характеристик ВОД необходимо формирование рациональных пространственных структур пучка лучей путем реализации процедур юстировки и регулировки оптической системы, а также изменения конструктивно-технологических параметров оптической системы ВОПЛП и ВОПУП: их количества и пространственного распределения, форм и радиусов кривизны преломляющих и отражающих поверхностей, расстояний между поверхностями, показателей преломления сред, составляющих оптическую систему, материалов конструктивных элементов оптического канала.

Разработана новая методика математического моделирования ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, учитывающая особенности и связь предложенной последовательности математического моделирования с конструктивно-технологи-ческой оптимизацией ВОПЛП и ВОПУП. Отличительные особенности данной методики следующие (рис. 1):

• введен пространственный модуляционный коэффициент K(Х, Y, Z), характеризующий распределение оптической мощности в пространстве ВОПЛП и ВОПУП;
• на основе математической и графической модели коэффициента K(В) = = Е/Е0, характеризующего распределение плотности мощности по сечению пучка света, определяется приближенное значение расстояния Х0 между общим торцом ПОВ и ООВ и отражателем, при котором распределение освещенности в сечениях вдоль оси Z равномерное, т.е. K(В) = 1;
• из условий: глубина модуляции больше 30 %, Л = min, dyn = min, определяются диапазон перемещения отражателя Хmin…Хmax для ВОПЛП и min…max для ВОПУП, взаимное расположение ПОВ и ООВ в торцах ВОК;
• на основе математической и графической модели K(SОСВ) = SПР/SООВ уточняется расстояние Х0 и определяется расстояние D между ПОВ и ООВ.

На основании математического моделирования осуществляется оптимизация конструктивно-технологического исполнения ВОПЛП и ВОПУП: точно определяются профиль и размеры МОЭ, его пространственное расположение относительно ПОВ и ООВ, пространственное расположение ОВ в рабочих торцах ВОК, технология юстировки элементов ВОПЛП и ВОПУП.

Проведена математическая формализация процесса распределения светового потока в ВОПЛП и ВОПУП.

Модуляция интенсивности светового потока в ВОПУП, когда освещенная зеркальная отражающая поверхность перемещается под углом относительно торцов ОВ, происходит следующим образом. Под действием измеряемой физической величины зеркальная поверхность перемещается относительно общего торца ВОК под углом (рис. 2). При этом кольцевая зона преобразуется в эллипсоидную, которая смещается относительно ООВ в направлении Z. Соответственно изменяется площадь SПР приемного торца ООВ, освещенная отраженным от зеркала световым потоком, т.е. SПР = f(). Функция преобразования (ФП) ВОПУП Ф() имеет вид

Ф() =K()Ф0, (1)

где K() – коэффициент передачи тракта «ПОВ – зеркальная отражающая поверхность, перемещающаяся под углом, – ООВ»; Ф0 – световой поток, введенный в зону измерения ВОПУП. При Ф0 = const вид функции преобразования Ф() будет определяться видом функции передачи оптического тракта, т.е. коэффициента K(), в диапазоне измерения. Эллипсоидная зона имеет переменные полуоси, размер которых зависит от значения угла.

Рис. 1. Графическое отображение новой методики математического моделирования

ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа
(Х – линейное перемещение, – угловое перемещение )

С учетом геометрических построений, приведенных на рис. 2, имеем

(2)

где – коэффициент отражения зеркальной поверхности МОЭ; i=1...k – количество ООВ; SЭ – площадь эллипсоидной зоны в плоскости приемных торцов ООВ;
SПР = S1 + S2. Площади S1 и S2 представляют собой сектора, образованные взаимным пересечением окружности радиусом, равным радиусу rC сердцевины ОВ, эллипса, образованного отраженными лучами в плоскости общего торца ОВ, большая полуось которого RЭ, а малая rЭ, и хорды АВ длиной а. Большая полуось эллипсидной зоны RЭ = Rcos, а малая полуось rЭ = rСcos.

 

а) б)

в)

Рис. 2. Геометрические построения к управлению световым потоком с помощью зеркала,

перемещающегося относительно оптической оси оптических волокон под углом :

а – упрощенная схема конструктивного исполнения ВОПУП;

б, в – геометрические построения к расчету функции преобразования

В соответствии с рис. 2

, , (3)

где , .

Окончательно:

(4)

где b = АВ = 2.

Окончательно коэффициент преобразования K() определится как

K()=

. (5)

Модуляция интенсивности светового потока в ВОПЛП, когда освещенная зеркальная отражающая поверхность перемещается перпендикулярно торцам ОВ в направлении Х, происходит аналогичным образом, что и в ВОПУП. Только в этом случае в плоскости приемного торца ООВ наблюдается освещенная кольцевая зона шириной h = 2rC, внешний радиус которой RВНЕШ = 2ХitgNA, где Хi – текущее значение расстояния от зеркала до ОВ; NA – апертурный угол ОВ.

Функция преобразования ВОПЛП имеет вид Ф(Х) = K(Х)Ф0, где Ф0 – световой поток, введенный в зону измерения ВОПЛП; K(Х) – коэффициент передачи тракта «ПОВ – зеркальная отражающая поверхность – ООВ»:

K(Х)=

(6)

где а = АВ = 2, i = 1...k – количество ООВ.

Во второй главе установлены критерии оптимизации конструктивно-технологического исполнения оптической системы ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа. Определяющими параметрами являются линейность функции преобразования, чувствительность преобразования и глубина модуляции оптического сигнала. Сформулирована и решена задача моделирования оптической системы ВОПЛП и ВОПУП, которая позволяет определить оптимальные конструктивно-технологические параметры, удовлетворяющие системе ограничений с допустимой погрешностью изготовления в границах доверительных интервалов с заданной надежностью.

Определено, что, изменяя тем или иным образом в процессе юстировки параметры b, D, х0, можно целенаправленно изменять вид функций K=f(), K=f(Х), добиваясь максимальной чувствительности преобразования при максимально достижимых линейности функции преобразования и глубине модуляции оптического сигнала (рис. 3).

Разработаны технологические установки для осуществления процедур юстировки и оптической регулировки оптической системы ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа. Предложено использовать разработанные установки-имитаторы линейных и угловых перемещений для снятия зависимостей выходных мощностей
W = f(Х) и W = f() от начального расположения МОЭ (рис. 4).

Рис. 3. Расчетные зависимости W = f(Х) Рис. 4. Экспериментальные
зависимости W = f()

Анализ полученных зависимостей позволил выбрать ФП и соответствующие данной зависимости конструктивно-технологические параметры оптической системы изготавливаемых волоконно-оптических преобразователей (ВОП), обеспечивающих повышение чувствительности преобразования оптических сигналов.

Для повышения точности ВОД модернизирован дифференциальный способ снижения дополнительной погрешности.

Разработана обобщенная структурно-аналитическая модель базовых дифференциальных ВОД, элементами которых являются ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа с электрическими и оптическими входами и выходами (рис. 5).

ВОК представляет собой жгут ПОВ и ООВ двух измерительных каналов (ИК) и предназначен для передачи световых потоков от источника излучения (ИИ) в зону измерения и обратно к приемникам излучения ПИ1 и ПИ2 первого и второго ИК соответственно. Один из элементов ВОК является частью конструкции ВОП, второй – частью конструкции оптоэлектронного блока (ОЭБ).

Принцип действия дифференциального ВОД отражательного типа в общем случае заключается в следующем. Световые потоки Ф01 и Ф02 от ИИ через посредство узла юстировки УЮ1 по ПОВ1 и ПОВ2 направляются в зону измерения к первой и второй отражающим поверхностям МОЭ соответственно. Под действием измеряемой физической величины Х или изменяются интенсивности отраженных световых потоков Ф1(Х) или Ф1() и Ф2(Х) или Ф2() соответственно. По ООВ1 и ООВ2 световые потоки Ф01(Х) и Ф02(Х) или Ф01() и Ф02() через узлы юстировки УЮ2 и УЮ3 поступают на ПИ1 и ПИ2 первого и второго ИК соответственно.
С выхода ОЭБ снимаются электрические сигналы I1(Х) и I2(Х) или I1() и I2().

Рис. 5. Структурно-аналитическая модель дифференциальных ВОП
с оптическим входом и выходом

Данные сигналы поступают на вход блока преобразования информации, где происходит, например, операция деления сигналов I1(Х) и I2(Х).

Разработана метрологическая структурная модель ВОД, в соответствии с которой определены реальные функции преобразования первого и второго ИК, а на их основе погрешность преобразования выходных токов I1 и I2 :

I1 = KПОВ1 + KОТР1(ЛМЭ1 + 2 + МЭ1) + KООВ1(4 + 6 + ЛОТР1 +

+ ОТР1) + KПИ1(8 + 10) + (SИИ)SИИ + (KПОВ)KПОВ + [1()]1() +

+ [SМОЭ + KОТР1 + KООВ1 + SПИ1]Х;

I2 = KПОВ1 + KОТР2(ЛМОЭ2 + 3 + МОЭ3) + KООВ2(5 + 7 + ЛОТР2 +

+ ОТР2) + KПИ2(9 + 12) + (SИИ)SИИ + (KПОВ)KПОВ + [2()]2() +

+ [SМОЭ + KОТР2 + KООВ2 + SПИ2]Х. (7)

Определено, что большинство технологических аддитивных погрешностей
(2, 3 4, 5 из-за неточности начальной установки МОЭ относительно ПОВ и ООВ, 6 и 7 из-за неточности юстировки ПОВ и ООВ друг относительно друга в зоне измерения физической величины, 8, 9 юстировки ООВ1 и ООВ2 относительно ПИ1 и ПИ2) несущественны, если процедура юстировки элементов оптической системы соответствует разработанной.

Мультипликативные погрешности SИИ, SПИ1, SПИ2, обусловленные изменением энергетических параметров ИИ и ПИ при изменении параметров окружающей среды, носят систематический характер, поэтому могут быть исключены. Погрешности 10 и 11 спектрального согласования ИИ и ПИ несущественны, если правильно подобраны пары «ИИ – ПИ». Если используется один ИИ для двух ИК, погрешность 1 юстировки ИИ относительно ПОВ и погрешность SИИ от изменения мощности и диаграммы излучения ИИ практически равны нулю, так как ПОВ1 и ПОВ2 относительно излучающей площадки ИИ юстируются симметрично таким образом, чтобы симметричная круговая диаграмма излучения ИИ была разделена на две одинаковые части. Соответственно, изменение интенсивности светового потока ведет к пропорциональному изменению сигналов первого и второго ИК.

Погрешности преобразования каждого из ИК без учета погрешностей, которыми можно пренебречь, будут определяться выражениями

I1 = KОТР1(ЛМОЭ1 + 2 + МОЭ1) + KООВ1(4 + 6 + ЛОТР1 + ОТР1) + SМОЭХ; (8)

I2 = KОТР2(ЛМОЭ2 + 3 + МОЭ3) + KООВ2(5 + 7 + ЛОТР2 + ОТР2) + SМОЭХ, (9)

а реальная функция преобразования запишется следующим образом:

YР = SМОЭ(1 + SМОЭ)SИИKПОВKД(1 + KД)UПХ

[(KОТР1 + ЛМОЭ1 + 2 + МОЭ1)SПИ1(KООВ1 + 4 + 6 + ЛОТР1 +

+ ОТР1) / (KОТР2 + ЛМОЭ2 + 3 + МОЭ3)SПИ2(KООВ2 + 5 + 7 + ЛОТР2 + ОТР2)]. (10)

Очевидно, что в дифференциальной схеме ЛМОЭ1 ЛМОЭ2, 2 3,
МОЭ1 МОЭ2, 4 5, 6 7, ЛОТР1 ЛОТР2, тогда:

для ВОПЛП:

YР = SМОЭ(1 + SМОЭ)SИИKПОВ[KОТР1SПИ1

(KООВ1 + ОТР1) / KОТР2SПИ2(KООВ2 + ОТР2)]KВУ(1 + KВУ)UПХ; (11)

для ВОПУП:

YР = SМОЭ(1 + SМОЭ)SИИKПОВ[KОТР1SПИ1

(KООВ1 + ОТР1) / KОТР2SПИ2(KООВ2 + ОТР2)]KВУ(1 + KВУ)UП. (12)

Определено, что неисключенными остаются технологические погрешности ОТР1, ОТР2, обусловленные неточностью изготовления отражающих поверхностей (например, недостижением требуемого коэффициента отражения в процессе полировки металлической пластины в ВОПУП). Их можно снизить технологическим путем. Дифференциальная схема позволяет снизить большинство погрешностей ВОД (суммарная погрешность не более 3 %). Кроме того, если прибегнуть к предварительному вычитанию сигналов с выходов каждого из ИК, можно удвоить чувствительность преобразования.

В третьей главе определены условия, при которых обеспечивается дифференциальное преобразование оптических сигналов непосредственно в зоне восприятия измерительного сигнала и для выполнения которых разработана технологическая последовательность изготовления ВОПУП и ВОПЛП отражательного типа, включающая восемь этапов:

1) формирование двух одинаковых световых потоков ИК от одного ИИ путем введения световых потоков в ПОВ1 и ПОВ2, расположенных симметрично относительно ИИ;

2) формирование на излучающих торцах ПОВ1 и ПОВ2 двух одинаковых световых потоков в виде полых усеченных конусов с толщиной стенок, равной диаметру сердцевины ОВ;

3) нахождение поперечных сечений А-А в полых усеченных конусах с равномерным распределением освещенности;

4) расположение дифференциального МОЭ в зоне с равномерным распределением освещенности;

5) юстировка по разработанной методике ПОВ1 и ООВ1, ПОВ2 и ООВ2 относительно двух отражающих поверхностей МОЭ;

6) введение одной части отраженного от МОЭ светового потока в отводящие волокна ООВ1 первого ИК;

7) введение второй части отраженного от МОЭ светового потока в отводящие волокна ООВ2 второго ИК;

8) передача световых потоков по ООВ1 и ООВ2 на ПИ1 и ПИ2 первого и второго ИК соответственно.

Для снижения большинства погрешностей ВОД реализована дифференциальная схема преобразования оптических сигналов в зоне восприятия измеряемой физической величины и предложены новые дифференциальные конструкции ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа с дифференциальным МОЭ в виде конструктивного элемента с двумя зеркальными отражающими поверхностями (рис. 6).

а) б)

Рис. 6. Расчетная схема ВОПУП:

а – начальное положение МОЭ; б – отклонение МОЭ на угол

С двух сторон МОЭ расположены ОВ первого и второго ИК, причем ПОВ1 первого ИК расположены соосно с ООВ2 второго ИК и, наоборот, ПОВ2 второго ИК расположены соосно с ООВ1 первого ИК. Оптические схемы дифференциальных ВОПУП и ВОПЛП юстируются так, что в отсутствие измеряемой физической величины световое излучение, выходящее из торцов ПОВ1 и ПОВ2, после отражения от зеркальных поверхностей МОЭ равномерно распределяется между торцами ООВ1 и ООВ2.

В ВОПУП появление силы, вектор которой перпендикулярен плоскости МОЭ, приводит к смещению ее на угол, а в ВОПЛП – к перемещению на расстояние Хi относительно первоначального положения и тем самым к изменению потока излучения, попадающего в приемные торцы ООВ1 и ООВ2.

Определены функции преобразования оптических систем ВОП:

– для ВОПЛП:

K(Х)1канала = Ф(Х)1канала / Ф0 =

(13)

[1 – K(Х)2канала] = Ф(Х)2канала / Ф0 = 1 – ( ,

(14)

где а = АВ = 2, i = 1...k – количество ООВ;

– для ВОПУП:

Ф()1канала / Ф0 = [/rCcos2 (4х0tgNA – rC)] ,	(15)
Ф()2канала / Ф0 = 1 – ([/rCcos2 (4х0tgNA – rC)] ),	(16)

где b = АВ = 2, i = 1...k – количество ООВ (см. рис. 2).

Определено, что расстояние, которое проходят отраженные лучи первого ИК в направлении –Z, должно быть равно по абсолютной величине расстоянию, которое проходят отраженные лучи второго ИК в направлении +Z. При этом отраженные лучи должны перемещаться в противоположных направлениях: .

Доказано, что для реализации дифференциального преобразования оптических сигналов необходимо, чтобы конструктивно-технологические параметры ВОПУП отражательного типа были связаны между собой выражением

. (17)

Аналогично для ВОПЛП определено:

2[dC – (х0 – хi) / tgNA] D 2[– (х0 – хi) / tgNA]. (18)

Доказано, что максимальной чувствительности преобразования можно добиться, если

Zi = (0,25…0,75)dC.

(19)

Выполнение условий (17)–(19) практически достигается юстировкой элементов оптической системы ВОП в процессе сборки (рис. 7).

Проведен анализ отказов ВОД с целью принятия соответствующих мер конструктивно-технологического характера по их исключению. Определено, что во время сборки, аттестации и испытаний наиболее часто встречаются дефекты, обусловленные изгибающими или крутящими воздействиями, проявляющимися в зоне, расположенной в непосредственной близости от зоны измерения, т.е. там, где общий торец ВОК соединен с корпусом ВОД.

а) б)

Рис. 7. Графическое отображение результатов юстировки
оптической системы дифференциального ВОПУП:
a – до юстировки; б – после юстировки

Разработаны эффективные технологические процедуры и приемы по обеспечению прочности ОВ:

1) проведение контрольных испытаний ОВ в процессе сборки ВОК, которые заключаются в том, что каждый отрезок ОВ подвергается кратковременному воздействию растягивающих нагрузок. Растягивающая нагрузка рассчитывается таким образом, чтобы деформация ОВ не превышала 1 %. Отрезки ОВ, которые разрушились при испытаниях, отбраковываются;

2) применение при изготовлении ВОД специального технологического приспособления, обеспечивающего жесткое крепление обоих концов ВОК относительно корпусов ВОД и блока преобразования информации (БПИ) (рис. 8);

Рис. 8. Технологическое
приспособление для крепления бухты ВОК в процессе изготовления
и испытаний ВОД

3) удлинение жесткой части корпуса со стороны ВОК таким образом, чтобы зона заливки клеем оказалась внутри корпуса, не снижая гибкость ОВ в жгуте. В этой зоне ОВ не должны заливаться клеем.

При сборке ВОД необходимо использовать импульсную сварку с применением теплоотвода, причем место сварки следует конструктивно удалить от измерительной зоны.

Разработана технологическая последовательность изготовления унифицированного ВОК для разрабатываемых ВОПЛП и ВОПУП (рис. 9), обеспечивающая повышенные эксплуатационные и метрологические характеристики ВОД.

а) б)

Рис. 9. Унифицированная конструкция ВОК: a – чертеж заготовки; б – сборочный чертеж

Совершенствование технологии позиционирования ОВ в торцах ВОК позволило в 2 раза снизить аддитивную составляющую основной приведенной погрешности
(с 0,5 до 0,2 %).

Разработано технологическое и метрологическое обеспечение изготовления дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП. Для снижения необоснованных затрат на проведение экспериментальных исследований готовых конструкций датчика разработана установка, воспроизводящая угловые перемещения (рис. 10).

Рис. 10. Фотография и схема установки для экспериментального исследования
дифференциального ВОПУП отражательного типа

Угол задается с помощью системы задания угла, которая обеспечивает угловые отклонения МОЭ в обе стороны от вертикального положения. Максимальное угловое перемещение составляет 5. Чтобы обеспечить начальное расстояние х0, между МОЭ и оптическими волокнами устанавливается однозначная мера соответствующего номинала.

Разработана методика экспериментальных исследований дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, в соответствии с которой были определены их оптимальные конструктивные параметры. Экспериментально установлено, что минимальной погрешности линейности можно добиться в диапазоне изменения угла ±3° при следующих параметрах: диаметр сердцевины ОВ – 0,2 мм, внешний диаметр ОВ – 0,5 мм, расчетные значения МОЭ (упругой пластины): ширина – 3 мм, толщина – 0,2 мм, длина – 20 мм; расстояния между оптическими осями ПОВ и ООВ – 0,7 мм, расстояния x0 от торца ВОК до отражающих поверхностей МОЭ – 1,5 мм.

В четвертой главе разработаны конструктивно-технологические исполнения дифференциальных ВОД отражательного типа для разных физических величин, в которых в качестве измерительных преобразователей используются разработанные дифференциальные ВОПУП и ВОПЛП (табл. 1).

Таблица 1

Общий вид датчика	Базовый ВОП	Вид датчика
1 – корпус, 2 – втулка, 3 – прокладка, 4 – наконечник, 5 – оптические волокна первого измерительного канала, 6 – оптические волокна второго измерительного канала, 7 – штуцер	ВОПУП и ВОПЛП	Дифференциальный ВОД давления отражательного типа
1 – блок мембранный, 2 – волоконно-оптический кабель, 3 – штуцер, 4 – основание	ВОПУП	Дифференциальный ВОД давления с отражательным аттенюатором
1 – основание, 2 – державка, 3 – модулирующий элемент, 4 – корпус, 5 – крышка	ВОПУП	Дифференциальный ВОД ускорения отражательного типа
1 – металлическая пластина (отражательный элемент), 2 – державка, 3 – основание, 4 – оптические волокна, 5 – сильфон, 6 – крепежная пластина	ВОПУП	Дифференциальный ВОД деформации отражательного типа

Разработана конструкторская и технологическая документация ВОД давления, ускорения и деформации отражательного типа на основе дифференциальных ВОПУП и ВОПЛП, позволяющая перейти к промышленному внедрению результатов работы.

В приложениях приведены программы и результаты расчетов параметров ВОП на ЭВМ, конструкторская и текстовая документация и фотографии экспериментальных образцов ВОД отражательного типа, представляющие отдельные положения диссертации; технологические процессы сборки ВОК и ВОДУ, акты внедрения результатов диссертации.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ И ВЫВОДЫ

Работа обеспечивает создание и совершенствование технологического обеспечения изготовления перспективных средств измерения: дифференциальных ВОД с высокими метрологическими и эксплуатационными характеристиками для систем инженерно-технических объектов различных отраслей науки, техники и технологии.

1. Разработаны новые технологические и конструктивные решения базовых ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа (в которых применены новые МОЭ, схемы позиционирования оптических волокон в ВОК, взаимное расположение элементов оптической системы), обеспечивающие реализацию дифференциального преобразования светового потока, позволяющие конструировать новые образцы высокоточных и надежных ВОД разных физических величин отражательного типа для различных диапазонов измерения и условий применения.
2. Разработаны структурные математические и метрологические модели дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, позволяющие на этапе проектирования определять источники погрешностей и конструктивно-технологическими методами и процедурами уменьшать их до минимально возможных значений.
3. Модернизирован способ снижения дополнительной погрешности ВОД отражательного типа за счет применения модулирующих отражательных элементов, реализующих дифференциальный алгоритм преобразования оптических сигналов, новых схем компоновки и позиционирования оптических волокон в волоконно-оптическом кабеле и взаимного расположения элементов оптической системы.
4. Разработаны технология позиционирования элементов, технологические процедуры юстировки и регулировки оптических систем дифференциальных ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, обеспечивающие в процессе функционирования максимальную глубину модуляции и высокую чувствительность преобразования оптического сигнала.
5. Разработана технологическая последовательность изготовления оптической системы ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа, обеспечивающая реализацию дифференциального преобразования оптических сигналов, что обеспечивает существенное уменьшение дополнительной погрешности ВОД отражательного типа.
6. Разработано технологическое оборудование для воспроизведения линейного и углового перемещения, обеспечивающее проведение технологических процедур настройки и юстировки оптической системы ВОПЛП и ВОПУП отражательного типа.

ОСНОВНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

Публикации в изданиях, рекомендованных ВАК России

1. Юрова, О. В. Измерительная установка для исследований дифференциальных ВОПУП / О. В. Юрова, А. С. Щевелев, С. А. Бростилов,
   Т. И. Мурашкина // Промышленные АСУ и контроллеры. – 2011. – № 6. – С. 58–64.
2. Юрова, О. В. Технологические основы проектирования волоконно-опти-ческого датчика ускорения / А. С. Щевелев, О. В. Юрова, С. А. Бростилов,
   Т. И. Мурашкина, А. В. Архипов // Промышленные АСУ и контроллеры. – 2011. – № 8. – С. 39–43.
3. Юрова, О. В. Теоретические исследования ВОПУП отражательного типа / О. В. Юрова, А. В. Архипов, И. Т. Назарова, Т. И. Мурашкина // Промышленные АСУ и контроллеры. – 2011. – № 10. – С. 48–51.

Публикации в других изданиях

4. Юрова, О. В. Волоконно-оптический датчик частоты вращения /
   О. В. Юрова // Надежность и качество : тр. Междунар. симп. : в 2 т. – Пенза : Инф.-изд. центр ПГУ, 2008. – Т. 1. – С. 524–525.
5. Юрова, О. В. Лабораторный макет и экспериментальные исследования волоконно-оптического датчика частоты вращения. Блок формирования сигналов.
   Ч. 1, 2 / В. Д. Зуев, О. В. Юрова // Надежность и качество : тр. Междунар. симп. :
   в 2 т. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2009. – Т. 1. – С. 232–235.
6. Установка для экспериментальных исследований ВОПУП / О. В. Юрова,
   Т. И. Мурашкина, М. М. Мышева // Надежность и качество : тр. Междунар. симп. :
   в 2 т. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2010. – Т. 2. – С. 143–145.
7. Юрова, О. В. Дифференциальный ВОПУП / Е. А. Бадеева, О. В. Юрова,
   А. С. Щевелев [и др.] // Современная электроника. – 2010. – № 8. – С. 32–33.
8. Юрова, О. В. Волоконно-оптический датчик давления на основе туннельного эффекта / Е. А. Бадеева, С. А. Бростилов, О. В. Юрова // Современная электроника. – 2011. – № 2.– С. 26–27.
9. Юрова, О. В. Дифференциальный волоконно-оптический датчик вибро-ускорения. Конструкция и технология / А. С. Щевелев, О. В. Юрова,
   С. А. Бростилов // Надежность и качество : тр. Междунар. симп. : в 2 т. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2011. – Т. 2. – С. 235–237.
10. Юрова, О. В. Технология дифференциального волоконно-оптического датчика виброускорения / А. С. Щевелев, О. В. Юрова, С. А. Бростилов,
    Т. И. Мурашкина // Датчики и системы : сб. докл. XXХ науч.-техн. конф. молодых специалистов (3031 марта 2011 г.). – Пенза : ОАО «НИИФИ», 2011. – С. 61–67.
11. Юрова, О. В. Вывод функции преобразования дифференциального ВОПУП / О. В. Юрова, С. А. Бростилов, А. С. Щевелев, Т. И. Мурашкина // Датчики и системы : сб. докл. XXХ науч.-техн. конф. молодых специалистов (3031 марта 2011 г.). – Пенза : ОАО «НИИФИ», 2011. – С. 4551.
12. Юрова, О. В. Экспериментальные исследования ВОПУП / О. В. Юрова,
    А. В. Архипов, М. М. Мышева, Т. И. Мурашкина // Надежность и качество : тр. Междунар. симп. : в 2 т. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2011. – Т. 2. – С. 237–240.
13. Юрова, О. В. Измерительная установка для исследования дифференциальных волоконно-оптических преобразователей углового перемещения / О. В. Юрова, И. Т. Назарова, Т. И. Мурашкина // Надежность и качество : тр. Междунар. симп. :
    в 2 т. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2011. – Т. 2. – С. 295–296.
14. Юрова, О. В. Установка для экспериментального исследования диффе-ренциального ВОПУП / О. В. Юрова, М. М. Мышева, Т. И. Мурашкина // Проблемы автоматизации и управления в технических системах : тр. Междунар. техн. конф. (г. Пенза 19–22 апреля) : в 2 т. / под ред. д-ра техн. наук, проф.
    М. А. Щербакова. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2011. – Т. 1. – С. 303–306.
15. Юрова, О. В. Метрологическое обеспечение испытаний волоконно-оптических преобразователей угловых перемещений / О. В. Юрова, С. А. Бростилов, И. Т. Назарова, М. М. Мышева, Т. И. Мурашкина // Испытания–2011 : сб. науч.-техн. конф. в рамках Всерос. науч. шк. (г. Пенза 3–7 октября). – Пенза : Изд-во ПГУ, 2011. – С. 68 – 74.
16. Юрова, О. В. Методика выполнения температурных испытаний волоконно-оптического датчика давления на основе туннельного эффекта /
    О. В. Юрова, С. А. Бростилов, Т. Ю. Бростилова, А. В. Бадеев, Т. И. Мурашкина // Испытания–2011 : сб. науч.-техн. конф. в рамках Всерос. науч. шк. (г. Пенза,
    3–7 октября 2011 г.). – Пенза : Изд-во ПГУ, 2011. – С. 86 – 89.
17. Юрова, О. В. Установка для проверки волоконно-оптического датчика давления отражательного типа / О. В. Юрова, А. Ю. Удалов, И. Т. Назарова,
    Е. А. Бадеева, Т. И. Мурашкина // Испытания–2011 : сб. науч.-техн. конф. в рамках Всерос. науч. шк. (г. Пенза, 3–7 октября 2011 г.). – Пенза : Изд-во ПГУ, 2011. –
    С. 93 – 96.

Патенты

18. Пат. 2419765 Российская Федерация, МПК G01 B 21/00. Волоконно-оптический преобразователь углового перемещения / Серебряков Д. И., Мурашкина Т. И., Пивкин А. Г., Юрова О.В. – № 2008134277/28 ; заявл. 20.08.2008 ; опубл. 27.05.2011, Бюл. № 15.

Научное издание

ЮРОВА Ольга Викторовна

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ЛИНЕЙНЫХ И УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

ОТРАЖАТЕЛЬНОГО ТИПА

Специальность 05.11.14 – Технология приборостроения

Редактор Е. П. Мухина

Технический редактор А. Г. Темникова

Компьютерная верстка А. Г. Темниковой

Распоряжение № 20/2012 от 16.04.2012.
Подписано в печать 18.04.2012. Формат 60841/16.
Усл. печ. л. 1,16. Заказ № 348. Тираж 100.

Пенза, Красная, 40, Издательство ПГУ

Тел./факс: (8412) 56-47-33; e-mail: [email protected]